Ⅰ、高純氣體供應目前主要有三種輸送形式

①外購液態氣體，氣化后管道輸送供氣；

②現場制做氣，管道輸送供氣；

③外購氣體鋼瓶，用氣體鋼瓶（組）供氣。

某個工程，采用何種方式 ，主要根據工廠的生產規模及氣體耗量、用氣質量，以及工廠所在城市或區域的氣體市場供應等因素經過技術經濟比較后確定。

Ⅱ、高純氣體管道閥門連接

高純氣體管道與閥門等附件連接應采用密封不易泄漏的專用接頭予以連接，常用的接頭方式有兩種：分別為VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok)，VCR采用優良的金屬墊，利用縱向壓力壓緊，因此泄漏率極低，約為10～9A cc/s，且耐壓較高，常用于氣體雜質含量1.0×10-9級的高純氣輸送系統，而SWG則不如VCR，耐壓較低，基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。

Ⅲ、高純氣體管道安全閥

安全閥是啟閉件受外力作用下處于常閉狀態，當設備或管道內的介質壓力升高超過規定值時，通過向系統外排放介質來防止管道或設備內介質壓力超過規定數值的特殊閥門。安全閥屬于自動閥類，主要用于鍋爐、壓力容器和管道上，控制壓力不超過規定值，對人身安全和設備運行起重要保護作用，注安全閥必須經過壓力試驗才能使用。

Ⅳ、管道針型閥連接

針型閥形比其他類型的閥門能夠耐受更大的壓力，密封性能好，所以一般用于較小流量較高壓力的氣體密封，針型閥與壓力表配合使用是最合適的了，一般的針型閥形都做成螺紋連接。

Ⅴ、氣體管路連接

1、法蘭連接

管道與設備、管道與閥門的連接，在一些要求不高的氣體管道可以采用法蘭連接，墊片使用軟金屬墊片或聚四氟乙烯墊片。 由于石棉會產生粉塵而橡膠的透氣性大和吸水性強而且容易老化， 所以不采用石棉墊片或橡膠整片。

2、表面密封連接件連接

法蘭連接時氣體和密封材料接觸面大，表面磨損也較大，所以對于高純氣體管道不采用法蘭連接。大多采用表面密封連接件，絕大多數采用VCR密封件形式。VCR連接方式氣體不接觸密封材料，流通表面幾乎沒有磨損，它是縱向壓力進行壓緊，選用質量優良的金屬墊，便可以做到很好的密封不泄露、污染少，因此得到廣泛采用。 選用時做到連接件材料與主管材料一致，內表面光潔等級一致。

3、卡套連接

卡套接頭即使是同一廠家一批貨，這幾種接頭體上錐形孔的深度往往不相同，結果就造成了泄漏，而此問題往往被忽視。正確的做法是，管子一端用什么樣的接頭體連接，即對應的連接端則用相同類型的接頭預裝，這樣能最大限度地避免出現泄漏問題。 卡套連接安裝方便 可以提高工作效率 現在各行各業用得比較廣泛，比焊接穩定性差一點。

4、螺紋連接

螺紋連接對大宗氣體，且純度要求不高的氣體管道，當采用鍍鋅鋼管時 ，采用螺紋連接。 螺紋連接的密封材 料采用聚四氟乙烯密封帶 ，不得采用傳統的油麻。密封帶纏繞要得當。不能纏繞的太厚、過長，纏繞太厚或纏繞過多超出管螺紋端頭坡 口的話，在螺紋旋緊時，密封帶會被絲咬切下，落人管道內形成較大的污染物，因此端口螺紋從坡口始，留出2-3個凸牙不纏繞密封帶是必要的。

Ⅵ、焊接連接管道焊接連接，可以采用對接焊 、承插焊或套管式接

1、對接焊

對于要求純度很高的管道，采用內壁無瘢痕的對接焊 。高純氬氣保護焊。

2、承插焊

對于純度要求相對低一些的管道可以采用承插焊或套管焊，承插焊氣體殘留空間比較大。

3、套管焊接

吹凈比較困難 ，現在比較多的采用套管焊接。 套管焊接應使套管和主管具有同等材料和內表面等級， 結合部的間隙不能過大，重疊部分也不宜過長，較為合適的重疊長度在 5mm內。 套管內管加工時，應使主管過盈 ，這樣主管被套管緊緊包裹后施焊，焊渣不會落人管內。而且氣體死空間也小，容易吹凈 。

Ⅶ、高純氣體供應系統控制

使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個半自動調節閥來控制。所有氣體管路都是高質量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈，使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調節閥門、壓力表來指示氣體壓力。